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半導体製造装置電子部品製造装置

ILC-1060PVD マルチチャンバースパッタ装置 Sold Out
ILC-1051MK II マルチチャンバースパッタ装置

ID : T002

1991年 φ6"
JEIDA
年式 1991年8月 
ウェハーサイズ φ6" JEIDA
チャンバー仕様 ECTH(L1) / SPUTTER(L2/R1/R2)
SEPARATION(標準アーム)
LOAD LOCK(L & R カセット)
プラズマ電源 ECTH(RF・1.2KW)
SPUTTER(DC 15KW)(DC 15KW)(DC 8KW)
メインポンプ クライオポンプ(6室独立排気)
   
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ILC-1051 マルチチャンバースパッタ装置 Sold Out

ILC-1051 マルチチャンバースパッタ装置 Sold Out

ILD-4033 ドライエッチング装置

ID : T005

1994年 φ6"
JEIDA
年式 1994年11月 
ウェハーサイズ φ6" JEIDA
チャンバー仕様 酸化膜エッチャー
AUTO LOADER(ROBOT)
LOAD LOCK(LL-L & LL-R)
プラズマ電源 RF電源(1.2KW)
メインポンプ ターボポンプ
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ILD-4032 ドライエッチング装置

ID : T006

1991年 φ6"
JEIDA
年式 1991年8月 
ウェハーサイズ φ6" JEIDA
チャンバー仕様 酸化膜エッチャー
AUTO LOADER(ROBOT)
LOAD LOCK
プラズマ電源 RF電源(1.0KW)
メインポンプ ターボポンプ
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ILD-4015 ドライエッチング装置

ID : T007

1991年 φ6"
JEIDA
年式 1991年9月 
ウェハーサイズ φ6" JEIDA
チャンバー仕様 ALエッチャー
AUTO LOADER(ROBOT)
LOAD LOCK
プラズマ電源 RF電源(2.4KW)
メインポンプ ターボポンプ
     
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ILC-705 インラインスパッタ装置 Sold Out